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OKXULEI

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MEMS Gas Sensors MEMS气体传感器

• 目的：低功耗MEMS热式质量流量计研发
• 内容：MEMS流量传感器芯片的结构设计和优化，CMOS-MEMS工艺研究，流量计匹配电路设计，流量计气体管路设计
• 性能：低功耗，小流量，高分辨
• 结构：背面腐蚀释放的封闭膜式气体/液体流量计芯片，正面腐蚀释放的小微气体流量计芯片
• 应用：气体/液体流量检测，新风系统，汽车电子，生物医疗等

• 目的：基于EIS/EIT技术的生物医疗传感器研发
• 内容：EIS/EIT MEMS电极的设计与制造，EIT成像算法研究，EIT数据采集与控制技术研发
• 性能：生物兼容可植入，高分辨率，无辐射
• 结构：MEMS两/四电极EIS传感器，MEMS 32电极EIT传感器，一维/二维结构电极阵列
• 应用：心血管斑块（Plaque）检测，肺部呼吸在线监测

• 目的：研发适合不同应用需求的微型加热器，提高相应MEMS传感器的性能
• 内容：结构设计，材料改进，工艺优化，性能提高
• 性能：小尺寸，低功耗，高强度，长寿命
• 结构：封闭膜式微型加热器，两/四悬梁式微型加热器，三维微型加热器，带有叉指电极的微型加热器
• 应用：光源、流量传感器，气体传感器，生物传感器

Micro-Heaters 微型加热器

• 研发目的：传统MEMS工艺的改进与发展，特别是与纳米技术的工艺融合，以及在生物医疗中的应用探索
• 加工工艺：MEMS加工工艺研究，纳米材料合成工艺研究，微纳融合工艺研究，生物兼容可植入工艺研究，高频段三维互联工艺研究
• 封装技术：圆片级封装工艺研究，三维液冷技术研究，高密度三维集成封装技术研究
• 仿真计算：基于ANSYS，COVENTOR，COMSOL等软件进行机、电、热、磁仿真技术

MEMS Bio/Medical Sensors MEMS生物医疗传感器

Micro/Nano Fabrication微纳加工

• 目的：针对气体传感器的迫切应用需求，研发高性能MEMS气体传感器
• 内容：MEMS基底的设计和优化，纳米敏感材料的结构优化与工艺改进，微纳融合工艺研究
• 性能：小尺寸，低功耗，高灵敏，快响应
• 结构：MEMS热导式气体传感器，二维低功耗催化燃烧式气体传感器，三维高性能催化燃烧式气体传感器，微纳融合的金属氧化物半导体气体传感器
• 应用：易燃易爆气体检测（甲烷，氢气等），有毒有害气体检测（一氧化碳，二氧化氮等），挥发性有机物检测（酒精，丙酮等），生化气体检测

MEMS Flow Sensors MEMS流量传感器